如何提高或保持光譜儀的精準度一直是我們需要討論的焦點，以下說的這幾點是重中之重。

　　

　　1、儀器的正常通電

　　

　　一旦長期斷電后重啟，儀器內部光學原件的性能至少需要48才能穩定。在此期間，分析往往會影響分析結果的準確性。因此，儀器應通電24小時。每天開始分析工作前，檢查儀器是否通電，光源指示燈、電源指示燈、高壓指示燈是否都亮。
 

　　

　　2、保持氬氣的純度。

　　

　　光譜儀要求氬氣純度為99.999%，輸送到儀器的氬氣壓力為0.5MPa，氬氣純化機可以滿足要求。但是，如果儀器光路中沒有靜態氬氣或靜態氬氣不足，2000A以下的元素光強值會受到影響，特別是在剛打開氬氣進行標準化操作時，C、P、S等元素的光強值會逐漸增大，這樣標準化完成后會嚴重影響分析結果。因此，打開氬氣半小時后，需要進行標準化操作和樣品分析。

　　

　　3、做好狹縫掃描。

　　

　　光譜儀內部的光學系統對溫度的變化非常敏感，環境溫度的變化會使光學系統稍有變化，使譜線不能對準相應的出射狹縫，影響分析的準確性。每天至少掃描一次狹縫，使譜線落在出射狹縫的中心。

　　

　　4、做好標準化工作。

　　

　　標準化是光譜分析操作的主要部分。光譜儀中不規則的微小物理變化會使工作曲線發生漂移，從而影響分析的準確性。標準化可以校正和計算這種漂移，調整影響儀器測量值的物理變化，保證分析結果的準確性。標準化時應特別小心。在每個樣品的初始激發之前，仔細檢查其編號是否與儀器電腦屏幕上顯示的編號一致。另外，標準化樣品應成分均勻，表面光滑潔凈，研磨樣品有紋路；分析間隙和樣品架干凈，分析間距正確。